在半導體與微電子產(chǎn)業(yè)這個追求極致精密的領域，一切材料的性能都直接關乎最終產(chǎn)品的成敗。鈦靶材，作為物理氣相沉積（PVD）技術中的核心消耗材料，其價值遠超其金屬本身。它被譽為芯片的“神經(jīng)脈絡”與“納米屏障”，雖僅占芯片總成本的約3%-5%，卻是決定互連線導電性能、阻擋雜質擴散、保障芯片可靠性的“關鍵少數(shù)”。隨著制程節(jié)點向3納米乃至更先進水平演進，對鈦靶材的要求已進入原子尺度的嚴苛范疇。
一、 定義與材質
定義：半導體與微電子用鈦靶材，是指用于磁控濺射、脈沖激光沉積等PVD工藝，純度通常在99.995% (4N5) 至 99.9999% (6N) 甚至更高的鈦金屬或鈦合金材料。在超高真空腔體內，高能粒子轟擊其表面，使鈦原子或分子被濺射出來，并在硅晶圓或其他基片上沉積形成納米級的功能薄膜。
主要材質：
超高純鈦靶材：核心材質，純度是首要指標。例如，用于0.18微米及以下制程的鈦靶，純度要求高達99.999% (5N) 以上。有國內領先企業(yè)已能將金屬雜質總量控制在0.1ppm以內，純度達到99.99999% (7N)，滿足3納米芯片需求。
鈦合金及化合物靶材：為滿足特定功能而開發(fā)。
鈦硅合金靶：用于在高溫下與硅襯底反應，形成低電阻的硅化物接觸。
反應濺射化合物：在濺射過程中引入氮氣、氧氣，可直接從鈦靶沉積出氮化鈦、二氧化鈦等薄膜，分別用作硬質阻擋層和介電材料。
二、 性能特點
半導體級鈦靶材的性能要求在所有應用領域中最為嚴苛，其特點可概括為“三高兩均勻”：
超高純度：這是最核心的指標。除了要求主成分鈦的純度極高，還必須嚴格控制特定的有害雜質。堿金屬（如鉀、鈉）和放射性元素（鈾、釷）含量必須極低，以防止它們在芯片中遷移，導致電路漏電、性能衰退甚至失效。高純鈦靶的典型雜質含量需控制在ppm（百萬分之一）甚至ppb（十億分之一）級別。
高密度與低缺陷：靶材密度需接近鈦的理論密度（約4.51 g/cm3），且內部要求無氣孔、裂紋等宏觀和微觀缺陷。高密度能保證濺射速率穩(wěn)定、減少顆粒飛濺，從而獲得致密無孔的薄膜。生產(chǎn)過程中常采用超聲探傷等技術進行百分百檢測。
高組織均勻性：要求靶材內部具有細小、均勻的等軸晶粒組織。晶粒尺寸通常要求小于50微米，先進產(chǎn)品可達40-45.6微米甚至更細（平均晶粒度12.0級）。均勻的晶粒結構是獲得厚度、成分均勻薄膜的根本保證。
極低的氧/氣含量：氧含量是關鍵的間隙元素指標，直接影響薄膜的電阻率和穩(wěn)定性。高端半導體鈦靶要求氧含量低于200ppm，先進產(chǎn)品可達180ppm甚至94ppm。
優(yōu)異的焊接質量：為保證散熱和機械強度，鈦靶材需要與無氧銅背板通過擴散焊等方式實現(xiàn)牢固的冶金結合。焊合率要求接近100%，且界面熱阻要低，以確保在高功率濺射下的穩(wěn)定運行。
三、 執(zhí)行標準
半導體鈦靶材的生產(chǎn)遵循嚴格的標準體系，其中國際標準與客戶定制規(guī)格并存。
國際通用標準：常參考美國材料與試驗協(xié)會的 ASTM 標準以及國際標準化組織 (ISO) 標準，對化學成分、物理性能、檢測方法進行規(guī)范。
國內與行業(yè)標準：
《T/ZZB 0093-2016 集成電路用高純鈦濺射靶材》：這是一項重要的國內團體標準，由寧波江豐電子等企業(yè)牽頭制定，專門規(guī)定了用于集成電路制造的高純鈦靶材的基本要求、技術指標和檢驗規(guī)則。
企業(yè)標準與客戶規(guī)格：由于技術迭代極快，下游芯片制造巨頭（如臺積電、英特爾、三星）會提出遠超通用標準的定制化技術協(xié)議，涵蓋從純度、晶粒尺寸到包裝運輸?shù)娜鞒碳毠?jié)，認證周期可長達2-3年。
四、 加工工藝與關鍵技術
其制造是高技術集成的過程，核心在于“提純”與“控性”。
1. 核心加工流程：
高純原料（如4N海綿鈦） → 多級熔煉提純（核心） → 鍛造/熱軋開坯 → 熱處理（均勻化退火） → 精密機械加工 → 背板焊接 → 清洗、無塵真空包裝。
2. 關鍵技術：
超高純熔煉技術：這是技術壁壘最高的環(huán)節(jié)。普遍采用 “電子束冷床熔煉 (EBCHM)” 或 “多次真空自耗電弧熔煉 (VAR)” 。EB爐可在高真空下利用電子束轟擊加熱，有效揮發(fā)去除低沸點雜質（如鐵、鉻、釩），是實現(xiàn)5N以上純度的關鍵設備。國內已成功研發(fā)大功率（300kW）電子槍以克服大型鑄錠的熔煉難題。
熔鹽電解精煉技術：一種前沿的提純工藝。項目研究采用“熔鹽電解精煉-電子束熔煉”組合工藝，能夠從工業(yè)廢鈦等原料中高效去除雜質，制備出純度高于99.997%的低氧高純鈦錠。
微觀組織精細調控技術：通過精確控制熱鍛、熱軋的溫度、變形量和后續(xù)熱處理工藝，將粗大的鑄態(tài)組織轉變?yōu)榧毿【鶆虻牡容S晶，并消除內應力，是保證靶材濺射性能一致性的核心。
精密加工與無損檢測技術：包括高精度數(shù)控加工確保尺寸，以及運用超聲波探傷、X射線檢測等手段，確保靶材內部和焊接界面無任何缺陷。
五、 具體應用領域
| 應用領域 | 具體功能與作用 | 技術要求與工藝特點 |
| 芯片互連與阻擋層 | 1. 擴散阻擋層：在銅互連線與硅襯底之間沉積氮化鈦(TiN)或鈦/氮化鈦疊層薄膜，有效阻止銅原子向硅中擴散，防止“銅中毒”導致器件失效。 | 要求薄膜極致致密、無針孔，厚度在幾納米到幾十納米范圍內精確可控。通常采用反應濺射。 |
| 2. 粘附層：純鈦薄膜能顯著提高銅與底層介電材料（如二氧化硅）的附著力。 |
| 籽晶層與電極層 | 1. 籽晶層：在沉積大塊銅導線前，先濺射一層極薄的鈦或氮化鈦，作為銅電鍍生長的晶種，確保銅膜連續(xù)、低電阻。 | 對薄膜的均勻性、低接觸電阻率要求極高。硅化物形成工藝需精確控制溫度與時間。 |
| 2. 接觸電極/硅化物：通過鈦硅合金靶濺射或純鈦靶沉積后退火，形成低電阻的鈦硅化合物，用于晶體管的源、漏、柵極接觸。 |
| 先進封裝與微電子器件 | 1. 硅通孔(TSV)阻擋層：在三維堆疊封裝中，于TSV深孔側壁沉積連續(xù)、均勻的鈦/氮化鈦阻擋層，隔離銅與硅。 | TSV應用對臺階覆蓋能力要求極苛刻，需要開發(fā)傾斜旋轉濺射等特殊工藝確保深孔側壁覆蓋完全。 |
| 2. 微機電系統(tǒng)(MEMS)：作為結構層或犧牲層材料。 |
| 3. 薄膜電阻/電容器：用于制備高精度無源元件。 |
| 光伏半導體輔材 | 主要用于薄膜太陽能電池（如硅基薄膜、CIGS）的背電極和緩沖層，利用其高導電性和良好的歐姆接觸特性。 | 相較于集成電路，對純度和缺陷的要求相對放寬，但更注重大面積鍍膜的均勻性和成本控制。 |
六、 與其他領域用鈦靶材的對比
不同應用領域對靶材的要求呈現(xiàn)顯著的“梯度”差異，這直接決定了技術門檻、市場格局和國產(chǎn)化程度。
| 對比維度 | 半導體與微電子 | 顯示面板 | 工具涂層與裝飾鍍膜 | 航空航天/生物醫(yī)學 |
| 核心要求 | 極致純度、納米級均勻性、超低缺陷密度。性能直接決定電路良率與可靠性。 | 大尺寸、高密度、優(yōu)良的導電性與均勻性。適配G10.5以上世代線的大面積鍍膜。 | 色彩效果、硬度、耐磨耐蝕性、成本。對純度要求相對最低。 | 生物相容性、比強度、耐腐蝕性。用于植入物涂層或輕質部件表面強化。 |
| 典型純度 | 4N5 (99.995%) 至 7N (99.99999%) 及以上。 | 通常 4N (99.99%) 級別即可滿足多數(shù)需求。 | 2N8 (99.8%) 至 4N (99.99%)，裝飾領域常用鈦鋁合金靶獲得玫瑰金等色彩。 | 3N5 (99.95%) 至 4N (99.99%)，更關注力學和化學性能。 |
| 關鍵技術焦點 | 原子級雜質控制、超細晶粒與織構調控、超潔凈焊接與加工。 | 超大鑄錠均勻鑄造技術、高性價比綁定技術、高利用率濺射。 | 反應濺射工藝穩(wěn)定性（防靶中毒）、色彩重現(xiàn)性、高沉積速率。 | 涂層與基體的結合強度、在體液或極端環(huán)境下的長期穩(wěn)定性。 |
| 認證周期 | 極長，通常2-3年，需經(jīng)過嚴苛的客戶端驗證。 | 較長，但較半導體領域短。 | 短，通常數(shù)月，市場進入相對容易。 | 長，需通過嚴格的生物或適航認證。 |
| 市場格局與國產(chǎn)化 | 技術壁壘最高，長期由日美企業(yè)（如JX金屬、霍尼韋爾）主導。國內江豐電子、有研億金等正實現(xiàn)高端突破。 | 中低端已全面國產(chǎn)化，高端ITO靶材（用于透明電極）仍在追趕。 | 技術門檻最低，市場已完全國產(chǎn)化，競爭激烈。 | 高端市場仍以國際企業(yè)為主，國內處于應用研發(fā)和跟進階段。 |
注：在磁記錄與儲能領域，鈦靶主要用于硬盤盤基的底層或介質層，要求薄膜具有超平滑表面和特定的晶體取向，其對純度的要求介于半導體與顯示之間。
七、 未來發(fā)展新領域與方向
匹配先進制程與新器件結構：
隨著芯片制程進入2納米、1納米及以下，互連線尺寸持續(xù)縮小，要求阻擋層薄膜更薄且更有效。開發(fā)具有更高阻擋效率的新型鈦基納米層狀或復合薄膜材料（如TiN/TaN疊層）是關鍵。
適應環(huán)柵晶體管、三維集成等新器件架構，對靶材的臺階覆蓋能力、低損傷濺射工藝提出前所未有的挑戰(zhàn)。
材料體系復合化與功能化：
復合靶材需求上升，如鈦-鉭、鈦-鎢等合金靶，以單一靶材實現(xiàn)多功能集成，簡化工藝步驟。
針對第三代半導體（碳化硅、氮化鎵）的器件制造，開發(fā)適配高溫、高功率工況的專用鈦基歐姆接觸和鈍化層材料。
產(chǎn)業(yè)鏈自主化與綠色制造：
深度國產(chǎn)替代：從高端12英寸晶圓用靶材，到上游的超高純鈦原料（如5N以上海綿鈦），實現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控是核心戰(zhàn)略方向。國內企業(yè)正通過建設大規(guī)模電子束熔煉爐等舉措向上游延伸。
綠色循環(huán)經(jīng)濟：建立從半導體制造廢料中回收高價值金屬并再生制備靶材的閉環(huán)技術，將成為頭部企業(yè)構建成本優(yōu)勢和供應鏈安全的關鍵。
拓展至前沿交叉領域：
量子計算：用于超導量子比特的電極和連接線的制備。
集成光子學：用于制備光波導、調制器中的低損耗金屬電極。
總而言之，半導體與微電子用鈦靶材的發(fā)展，是一部不斷追求材料極限、以納米精度支撐摩爾定律前進的微觀史詩。其未來，將更加緊密地與芯片技術的顛覆性創(chuàng)新同頻共振，在純度、結構和功能上持續(xù)突破，為信息時代的算力基石提供不可或缺的材料支撐。
